VCS module

客製化線性馬達精密定位平台的領導廠商 - 磁晶科技

取放用音圈馬達控力單元 (VCS)

線性馬達精密定位產品---VCS 模組為一適用於薄晶片取放的力量控制單元，該模組採用音圈馬達，因此擁有超低移動質量、超高力量控制精度。主要有兩種組態，包括圓筒式及方塊式。方塊式為最新開發的模組，具有更低的整體質量及完全消除圓筒式取放氣管軸旋轉遊隙的固定方式，該氣管軸整根由客戶自行設計提供，其安裝固定僅需鎖固兩支set screws，安裝置換容易。注意，圓筒式僅供舊客戶訂購，目前已停止生產。請選用更輕更便宜之方塊式模組。

線性功率放大器將被用來取代原有之PWM功率放大器，使電流漣波所造成的出力振顫完全消除。力量乃經由 +-5V 類比訊號對應+-最大出力來控制，所以本身自重可經由輸入負訊號輸出負方向力而平衡，達成整體零出力的功能。

客戶可選用內建定位控制功能，以省下用於軟接觸及升降之額外Z軸模組，該選項乃加入一光反射元件以回受位置達成全行程0.2%的位置解析度。該音圈馬達驅動器除了定位功能之外，其軟接觸的動作可經由一個數位輸入開關即可達成。接觸力量與接觸速度可經由RS232介面預先程式設定。如此的功能有兩項優點，第一，由於簡單的介面控制使得不需使用昂貴的具有DA功能的運動控制器，其二，整個軟接觸過程可被加速，因為經過作業系統達成運動模式切換的時間延遲可被消除。

為了使客戶能達成速配式機器整合，有效行程、取放氣管軸直徑、額定及最大出力，皆可自由制定。請下載 specification-generation (SpecGen) program 以制定規格，請將結果檔案寄回，以取得細部之外型尺寸圖及報價單。由於您經由SpecGen所制定之規格將饋入我們的自動設計系統，在送出結果檔案之前，請再次檢查規格值。

主要特色

超高力量控制精度
超低移動質量
微型輕量化
整合式定位與軟接觸運動功能 (optional)

應用領域

半導體、光電元件LCD/LED 晶片取放

規格能力範圍

項目	單位	規格範圍
Effective stroke	mm	2~5 (Note 1)
Force resolution	g	Force control type depends on the resolution of customer-provided DA signal. Positioning type 0.01% per maximal force
Straightness/Flatness	um	±3/5 mm (Round tube type) ±0.5/5 mm (Rectangular block type)
Positioning resolution	um	0.2% of effective stroke
Minimal velocity	mm/s	1
Maximal force	g	15~300
Continuous force	g	5~100

Note 1: 如要更長行程，請聯絡磁晶科技。

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